由于多维力传感器在各种微观应用（例如生物样品的表征）中具有巨大的潜力，因此已进行了广泛的研究。在基于微机电系统（MEMS）的传感器上实施的电容式力感测技术可在力测量中实现具有亚微牛顿分辨率的多维力感测功能。本文介绍了采用无切割三掩膜微加工工艺的带有电极头的多维力传感器微悬臂梁的设计和制造，以大程度地减少后处理过程中对制造的传感器造成的损坏。

可以通过包括电容和压阻感测在内的多种感测方法来检测由力引起的响应元件的位移。力可能来自线性加速度，角加速度，角速度，流体流动，电场/磁场/重力场和其他来源。该传感器可用作加速度或力的多个维度的环境中的加速度计或现场传感器。

测力的多个维度的传感器。本发明的一个实施例包括具有多个柔性梁的主体，一个或多个响应元件附接到其上。可以通过包括电容和压阻检测在内的多种检测方法来检测响应元件的力引起的位移。力可以来自线性加速度，角加速度，角速度，流体流动，电场/磁场/重力场和其他来源。该传感器可用作加速度计或在可能发生环境的环境中用作现场传感器。

多维力传感器上的预紧力。介绍并分析了多维力传感器和压电石英晶体的结构。研究了预紧力与力传感器测量范围之间的关系。建立了多维力传感器的结构模型，并进行了有限元分析。获得了具有不同预紧力的水平方向的水平线性度。为了验证有限元分析，制造了压电多维力传感器的简化原型。

多光束结构可测量一个或多个响应元件的位移，以检测施加力的多个分量。柔性梁分别耦合到响应元件，该响应元件可以通过由线性加速度，角加速度，流体流动，电/磁/重力场和其他源引起的力而移位。响应元件的位移可通过多种感应方法进行检测，包括电容感应和压阻感应。

力传感器的结构参数应满足相应的条件，以使数据的信息内容大化。事实证明，各向同性传感器具有大的信息量。基于信息矩阵提出了传感器结构与其任务的匹配原理。这个较大的范围取决于处理技术和应用程序的细节。负载施加到从移动体伸出的探针或手写笔。可以通过各种方法来转换输入信号，包括光学，压电，压阻和电容性方法。后两种转导方法是本文的重点。力传感器设计通常具有通过柔性构件连接至固定结构的移动体。